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| Keywords: Ty-LithographyAndPatternTransferByEtching-de.svg Mikrostrukturierung Strukturdefinition in einer Resistmaskierung mit Foto- Lithografie und Strukturübertragung in eine Funktionsschicht mittels nicht-anisotropen Ätzens drawn by Torsten Henning 2007-12-16 15 57 55 +0100 Torsten Henning released into the public domain Inkscape Photolithography microfabrication DrTorstenHenning | ||||
